Попытайтесь добавить это под ServerName:
ServerAlias 127.0.0.1:443
Я получил ту же ошибку, потому что я пропустил '/' перед аргументом ConfigurationFile. Правильный синтаксис выглядит примерно так:
F: \ setup.exe /ConfigurationFile=C:\setup\ConfigurationFile.ini