Делает sha1sum имеет то же поведение?
sha1sum
Я ожидал бы ошибки чтения диска прежде, чем получить фантомные данные, которые изменяют процесс хеширования. На какой платформе Вы работаете?
Во-первых 9.10 не поддерживается на 6.5.3.
Во-вторых, Вы установили vmtools от 6.5.3 версий VMware Workstation или от где-то в другом месте? если не затем НЕОБХОДИМО сделать это.